案例名称:万级净化车间
 
 
净化车间等级之分：

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在净化车间内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。 
　　依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E,

1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室净化车间的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，净化车间等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的净化车间之洁净度必须优于1000级。 　　

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