东莞市翔泰净化工程有限公司专营为你提供最专业的电子洁净室工程设计及施工,本节讲述FFU结构及在电子工业洁净室中的应用,真诚与你共同进步.电话:13825786601田生
一、FFU的外观 目前,全世界所有厂家生产的FFU,从外观上可这样划分: 1、从形状上分两种,一种是长方体(如图1所示),一种上部为坡形(如图2所示)。图2所示的FFU的上部做成坡形,起到了一种导流的作用,有利于气流的流动和均匀分布。图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。 2、从结构上分两种,一种为整体(如图3所示),一种为分体(如图4所示)。 分体形状的FFU有如下优势: ① 使过滤器的更换变得方 ② 减小了安装过程中的劳动强度。 整体形状的FFU有如下优势: ① 增加了FFU的密封性,有效防止了泄漏。 ② 有利于降低噪音 ③ 有利于减小振动 二、FFU的组成部件 目前,各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序),视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。 1、预过滤器 6、气流均衡装置 2、外壳体 7、过滤器 3、风管连接部件 8、金属防护网 4、电机 9、刀缘 5、叶轮 10、控制元件
下面,我们对各个部件进行分析介绍: 一、预过滤器 一般为可清洗聚胺脂泡沫,主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。 二、外壳体 组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种,不同厂家和不同的使用环境有不同的选择,厚度大约为1.2~2.0,视厚度情况有些可以载人。 三、风管连接部件 在较低级别洁净室(≤1000级联邦标准209E)的场合,此时吊顶上部没有静压箱,带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。 四、电机 目前,交流电机和直流电机在FFU中都有使用,直流电机的体积大,造价高,控制容易实现,能耗较高。交流电机的体积小,造价低,控制需要相应的技术,能耗较低。现在FFU所使用的电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术,如无油润滑,密封轴承,带过热保护,换向器寿命得到显著提高等。 五、叶轮 叶轮有两种形式,前倾和后倾,前倾有利于增加气流组织的矢向流动,增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗,减小噪音。 六、气流均衡装置 随着FFU的不断普及,绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置,用来调整FFU的出口气流,从而改善电子工业洁净室的气流分布。目前,这种均衡装置大约分为三种:一种为孔板(如图6所示),主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅(如图7所示),主要通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示),主要通过曲线的形状来诱导气流的流动,同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。 七、过滤器 FFU所使用的过滤器和电子工业洁净室厂房所用的其它过滤器一样,这里不再赘述。 八、金属防护网 金属防护网主要起到对过滤器的保护作用,大部分都防静电。 九、刀缘 当FFU使用在一些特别的场合时,带刀缘的FFU可使用液槽密封,从而能满足高密封性的要求。 十、控制单元 FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种,同时实现的功能有单台控制、分区控制、报警、运行状态显示等。
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